太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心,山西太原030024;
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室,山西太原030024;
太原理工大学物理与光电工程学院,山西太原030024;
太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心,山西太原030024;
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室,山西太原030024;
太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心,山西太原030024;
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室,山西太原030024;
太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心,山西太原030024;
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室,山西太原030024;