基于波面面形的滤波计算

摘要

为提高光学干涉测量的精度,研究了用来消除干涉条纹图噪声的滤波算法.讨论了不同波面和不同干涉仪噪声下不同滤波方法的滤波效果.考虑干涉仪噪声对条纹图的影响与检测中的不同波面情况,基于泽尼克多项式原理用mat-lab仿真法建立了离焦、像散、彗差、球差4种不同的干涉条纹图,计算了滤波后不同波面面形的PV值和GRMS值差别的大小.结果表明:同种噪声与滤波器情况下,在离焦、像散、彗差、球差4种面型中,滤波后球差波面的PV差值最大,高达0.11λ,与在乘性噪声下其它波面的最高PV值0.08λ相比,滤波效果较差;滤波后像散波面的PV差值最小,除乘性噪声中值滤波情况外,PV差值均在0.05λ以下,最低达0.01,滤波效果较好.此外,彗差波面滤波情况要略优于离焦波面.滤波器中,低通滤波稳定性高,PV差值局限于0.01λ～0.04λ,滤波效果相对好;而空域滤波后波面的PV差值最高达0.09λ,但噪声针对性更好.