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谢春; 姚倩霞; 余越; 李文斌;
同济大学中德工程学院 上海 201804;
同济大学机械与能源工程学院 上海 201804;
同济大学先进微结构材料教育部重点实验室 上海 200092;
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所 上海 200092;
反射率计; LabVIEW; 锁相放大器; 数据采集;
机译:在不同真空环境下,高通量极紫外光照射下,极紫外光刻光学多层反射镜反射率的非线性行为
机译:用于极紫外光刻的反射型衰减相移掩模的高反射率,在深紫外条件下具有较高的检查对比度
机译:飞秒极紫外无电子激光对Nd〜(3 +):LaF_3的真空紫外光谱分析
机译:多层反射光学元件的对比度和反射率提高,适用于超过极紫外的波长
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:真空和极紫外脉冲的原位频率门控和分束
机译:观察到日冕中太阳五分钟振荡的变化 通过极紫外分光光度计(Esp)对太阳动力学进行研究 天文台极端紫外线可变性实验(sDO / EVE)
机译:紫外,真空紫外和极紫外波长的大气排放研究。
机译:极紫外光发生剂,光分离质谱仪,极紫外分光光度计装置以及极紫外光发生方法
机译:极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及用于控制在极紫外光源装置中使用的饱和吸收剂的方法
机译:极紫外光光源装置,用于极紫外光光源装置的激光光源装置以及控制用于极紫外光光源装置的可吸收吸收物的方法
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