采用反应蒸发和反应离子镀膜法制备的薄膜的微结构分析

摘要

电子显微镜,触针式轮廓仪和拉曼微探针分析表明,采用反应蒸发和反应离子镀方法所制备的薄膜有显著的差异.反应蒸发产生的薄膜具有大家所熟知的柱状结构。