离子束混合形成氮化钛膜的摩擦和光学性能

摘要

用载能氮离子束轰击纯铁镀钛膜样品，成功地形成了金黄色氮化钛薄膜。结果表明：注入剂量为０．５×１０＾１７ Ｎ＾＋／ｃｍ＾２的混合样品表面颜色与纯金类似；氮离子束混合样品表面显微硬度及耐磨性都远优于纯铁基体，且随离子剂量的增加，混合样品的表面硬度和耐磨性也提高。