弗里曼源热阴极弧放电在高温下应用中的几个问题

摘要

介绍弗里曼源在典型气体流量下弧室内、源缝口侧、引出缝口后300mm处和监控处的真空度间的关系,纯灯丝热和弧放电热引起的弧室内壁、料炉末端的温升分布特性,以及微渗水蒸汽使高温灯丝氧化对放电特性的影响.同时研究了几种特殊气体放电的氩离子辅助以及灯丝电极夹下垂引起的灯丝外短路问题