N2空心阴极放电向微空心阴极放电转变的PIC/MC模拟

摘要

开发了氮空心阴极放电PIC/MC二维自洽模型.研究了N2传统空心阴极向微空心阴极放电转变过程中电势和电场的变化.结果表明,不同尺寸的空心阴极放电的电势及电场分布规律几乎类似,但空心阴极孔径减小且气压增加时,电场近似线性增加;典型微空心阴极电场比传统空心阴极放电电场约大3个量级;微空心阴极放电产生的电子,氮分子离子和氮原子离子的密度比传统空心阴极放电约大3个量级,且微空心阴极放电中,N2+密度比N+密度大8倍以上.