一种α谱的计算机模拟方法与硼的深度分布研究

摘要

本工作介绍了一种对＾１１Ｂ（ｐ，ａ）＾８Ｂｅ在Ｅｐ＝６６２ｋｅＶ强宽共振反应产生的α谱模拟计算方法，这种方法用于表面扩硼，硼离子注入和掺硼薄膜等样品中硼浓度深度分布的分析，并取得了好的结果。