首页> 中文期刊> 《新技术新工艺》 >用于制备磁隧道结的模板套准新方法及装置

用于制备磁隧道结的模板套准新方法及装置

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

简述了现有掩模技术制备磁隧道结的过程;指出了采用定位图形套准模板存在的弊端;介绍了1种将基片固定,利用定位螺栓套准模板的装置.实践表明:采用该装置可显著提高制备磁隧道结的完好率,为纳米多层膜的制备提供了较为可靠的模板套准方法及装置.

著录项

来源
《新技术新工艺》 |2003年第6期|45-46|共2页
作者
由臣; 赵燕平; 刘技文; 陈民芳;
展开▼
作者单位

天津理工学院,300191;

天津理工学院,300191;

天津理工学院,300191;

天津理工学院,300191;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
磁隧道结; 套准; 模板; 定位图形;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Zn0.5Fe2.5O4-(α-Fe2O3)多晶隧道结磁致电阻材料合成与制备 [J] . 包丽梅 ,曾燕伟 . 南京工业大学学报（自然科学版） . 2005,第006期
2. 磁控溅射制备Co／Al2O3／FeNi磁隧道结 [J] . 任妙娟 ,陈延学 ,季刚 . 微细加工技术 . 2003,第002期
3. 在二氧化硅衬底上制备磁光Ce：YIG薄膜用于磁光波导型器件 [J] . 王巍 ,兰中文 ,王豪才 . 红外与毫米波学报 . 2004,第004期
4. 实时励磁仿真系统接口装置中控制角测量模板的设计 [J] . 李春龙 ,崔建华 ,刘立新 . 大电机技术 . 2003,第004期
5. 以胶体粒子为模板制备含磁药物胶囊 [J] . 杨晓玲 ,韩霄 ,答鸿 . 华东理工大学学报：社会科学版 . 2006,第005期
6. 磁隧道结中MgO薄膜的制备方法及性能表征 [C] . Yongle Lou ,娄永乐 ,Yuming Zhang . 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议 . 2012
7. 磁隧道结模型及自旋转移力矩磁随机存储器设计技术研究 [A] . 张丽 . 2014

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号