光学非球面零件凹面的机器人柔性抛光

摘要

在光学系统中,非球面零件起到非常大的作用,但是如何得到合格的光学非球面零件是重点和难点.使用工业机器人替代传统手工抛光方式对光学非球面零件凹面进行加工的基本思想是在机器人末端连接1个抛光盘,抛光盘要比光学工件的最大面形直径小得多,在工件表面上沿设计好的轨迹运动,使工件面形误差收敛在可接受的范围内.结合实际工作内容,研制了用于光学非球面零件凹面抛光加工的机器人柔性抛光系统,采用主动式的力控制方式来应对机器人与接触环境间的接触力,并对精密铣磨成型后的光学非球面镜零件凹面进行快速确定性抛光加工试验,得到了较好的试验结果.试验结果证明了使用机器人可以为光学非球面零件凹面做柔性抛光.