日本金刚石薄膜研究发展动态

摘要

一、前言早在1956年低温低压合成金刚石就由苏联科学院物理化学研究所的Spitsyn和Derjaguin开始研究.1958年美国联合碳化物公司的W.G.Eversole也通过实验从气相合成出金刚石.但直到八十年代在日本国立无机材质研究所才取得突破性的进展.由此金刚石薄膜的研究成了世界各工业发达国家竞相研究的热门课题.特别是近几年来世界继'高温超导热'之后,形成了'金刚石薄膜热'.