甩胶喷雾热分解方法制备钛酸钡薄膜的研究

摘要

以乙酸钡、钛酸四丁酯为主要原料制备钛酸钡溶液,采用甩胶喷雾热分解方法制备了BaTiO3薄膜。制备条件为喷嘴距离2-3cm,转速4000转,通过对溶液的DSC-TG图谱分析,确定薄膜的干燥温度100℃左右,热处理温度700℃左右,实验表明,应用甩胶喷雾热分解方法能够成功制备较好的BaTiO3薄膜,600℃时,BaTiO3已经完全形成了钙钛矿结,700℃时薄膜致密均匀。