动力学MonteCarlo模拟原子相互作用对薄膜外延生长的影响

摘要

运用动力学蒙特卡罗方法模拟两种原子组成的薄膜外延生长时形成纳米团簇的过程。通过分析原子相互作用能和相分离的关系，发现动力学影响对纳米团簇的形貌起主导作用。给出原子发生分离时相互作用能满足的条件为（EAA＋EBB-2EAB）〉0，动力学Monte Carlo模拟结果也同样显示，在适当高的温度范围内，当两种原子的相互作用能满足（EAA＋EBB-2EAR）〉0条件时，分子外延薄膜生长会趋于相分离进而形成纳米团簇。