喷雾热分解法制备ITO薄膜及其光电性能研究

摘要

采用自制的喷雾热分解装置在玻璃衬底上制备ITO薄膜，并对实验条件进行了正交设计，以考察制备ITO薄膜的优良条件，结果表明，影响ITO薄膜光电性能的主要因素是基板温度。制备ITO薄膜的优化条件为：基板温度300℃，载气气流速度1L·min-1，退火温度540℃，溶液配比为铟锡比10：1，喷嘴与基板距离8cm，薄膜沉积时间3．5min，相应的透光率为97％，方块电阻3875Ω／。