面向紧急订单的晶圆制造AMHS多目标调度方法

摘要

cqvip:为提高晶圆制造整体式自动化物料运输系统中紧急订单的搬运性能,以晶圆卡平均等待时间、平均加工周期、平均搬运时间作为优化目标,建立了整体式自动化物料运输系统多目标调度模型。提出了一种基于循序搜索启发式规则的物料运输系统多目标调度方法,该方法针对晶圆卡搬运请求进行邻域循序搜索以匹配更优的搬运小车,从而提高紧急晶圆卡的搬运效率。仿真实验结果表明,与现有基于启发式优先规则的调度方法相比,该方法在紧急晶圆卡的平均加工周期、平均搬运时间、平均等待时间等性能指标方面具有更优的综合性能,且对普通晶圆卡的搬运性能影响更小,验证了该方法的有效性。