试述SnO2气体传感器设计

摘要

微电子技术的日益普及和应用，传感器已经深入到人类生活的各个领域。因此对传感器的性能、数量及用途提出了新的需求。本文简要总结了SnO2气体传感器其优缺点，并对各种修饰、改善SnO2薄膜气体传感器性能的方法进行了归纳。