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采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器

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摘要

采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器Ｓ．Ｍａｒｃｏ，等１．引言高性能的硅压阻式压力传感器已广泛应用于工业环境中，然而在生物医学方面，若利用硅压阻式压力传感器进行介入性测量以直接监视被测物，则将在大小尺寸、准确度和灵敏度方面受到严格...

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来源
《中国检验检测》 |1997年第1期|53-57|共6页
作者
Marco; S; 吴鲲;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
薄结构膜片; 生物医学; 压力传感器;

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