面向绿色能源产品的多晶硅生产过程少子寿命提升研究

摘要

为提升绿色能源多晶硅的少子寿命(Minority Carrier Lifetime,MCI),根据生产过程中影响少子寿命的特性要因,引入六西格玛管理法,按照DMAIC(定义D、测量M、分析A、改进Ⅰ和控制C)分析流程提出质量改进方案并实施,最终得到满意结果:少子寿命(MCI)由3.69μs提升到4.16μs,工序能力指数CPK由0.66提高到1.09;实证分析表明,运用六西格玛管理法不仅提升了硅材料的少子寿命,实现了预期目标,还产生了显著的经济收益.