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一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器

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本文研制了一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器.首先采用有限元法对特定结构的传感器进行了静力学分析,确定了其布片方案;然后通过软件实现对传感器输出进行六轴力/力矩的解耦,这大大简化了后置解耦电路的设计并降低了成本;最后本文给出了六轴微力传感器的标定曲线,证明其可用于MEMS做样品力学特性测试.

著录项

来源
《现代机械》 |2004年第1期|15-16|共2页
作者
杨宏亮; 鲍剑斌; 王志勇; 贺德建;
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作者单位

华中科技大学机械科学与工程学院,430074;

华中科技大学机械科学与工程学院,430074;

华中科技大学机械科学与工程学院,430074;

华中科技大学机械科学与工程学院,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类力的测量仪表;
关键词
六轴力/力矩传感器; 有限元分析; 解耦; 标定矩阵;

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