FMCS系统在微电子产业工程项目中的应用实践

摘要

制造微电子产品的科技含量高,对专业生产系统的可靠性要求高,引入FMCS系统有助于实施精准控制。通过对某微电子产业园项目设计、施工阶段FMCS系统与厂房子系统结合应用的研究,对整个系统进行尽可能全面地论述,采用自动化控制理论分析与项目实际应用枚举等方法手段,提纲挈领,让该领域工程一线的专业技术人员对该类项目管理有较为全面的认知。在我国推进工业信息化、产业智能化的背景下,FMCS系统符合国家发展战略,同时具备成熟的技术应用条件。