等离子体中频电源的驱动与保护电路设计

摘要

讨论了150 kHz等离子体中频电源的驱动与保护电路设计方案.该电路采用脉冲变压器耦合MOSFET管驱动电路,具有输出变压器原边平均电流和副边峰值电流的过流保护功能.结果表明:驱动波形的上升和下降时间都不超过80 ns,并能在检测到过流信号时封锁驱动信号,关断变换器中的开关器件,切断过流故障,有效进行电路保护.