压电超声微电机的研究现状与应用前景

摘要

从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向；以此展开，论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术，结合国外的应用现状分析了压电超声微电机的应用前景。