离子束传输系统设计实例

摘要

一、前言在电子、冶金、材料、超导等科技和生产领域,离子束设备的应用越来越广。国外,离子束设备的研究和生产已经成为一个独立的部门。从六十年代末开始至今,我国的离子束设备的研究和生产得到了很大发展,已经研究和生产了多种型号的离子束设备,为我国的科技进步和生产发展作出了一定贡献。