退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
胡正军; 王莉; 徐东; 蔡炳初;
上海交通大学信息存储研究中心,;
MEMS; 压电薄膜; PZT;
机译:PZT压电薄膜溅射技术销售批量生产设备,为下一代MEMS传感器和执行器
机译:下一代MEMS传感器执行器的PZT压电薄膜溅射技术进步
机译:建立MEMS的PZT压电薄膜批量生产技术
机译:使用反应离子束蚀刻在PiezoMEMS,RF MEMS谐振器和滤波器应用中对PZT薄膜进行图案化
机译:基于PZT基板的音频和超声MEMS,适用于液体和空中应用。
机译:具有5V兼容两轴PZT驱动的MEMS扫描镜具有机械杠杆结构适用于微型LiDAR应用
机译:基于压电薄膜器件激励的体声波的mEms传感器物理性能,性能及应用研究
机译:用于mEms应用的低应力alN压电薄膜的直流磁控反应溅射
机译:Mn PZT Mn PZT MN掺杂的PZT压电薄膜形成成分和MN掺杂的PZT压电薄膜组成
机译:用于形成锰掺杂的基于PZT的压电薄膜和锰掺杂的基于PZT的压电薄膜的组合物
机译:MN掺杂的基于PZT的压电薄膜形成组合物和MN掺杂的基于PZT的压电薄膜
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。