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基于PC机控制的电子束图形控制器

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摘要

介绍了新研制的以PC微机为控制机的电子束图形数字控制器的接口、结构、基本功能以及设计中应注意的主要环节.

著录项

来源
《微细加工技术》 |2001年第4期|12-15|共4页
作者
张玉林; 张玲;
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作者单位

山东大学南区,;

山东大学南区,;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
电子束曝光机; 图形发生器; 计算机控制;

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