微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望

陈非凡; 殷玲; 李云龙

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微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望

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微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能.MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起.着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状,阐述了MOEMS的基本特征,列举了一些典型的MOEMS系统,并分析了MOEMS技术的发展趋势.

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来源
《微细加工技术》 |2002年第3期|1-7|共7页
作者
陈非凡; 殷玲; 李云龙;
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作者单位

清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084;

清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084;

清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084;

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正文语种 chi
中图分类光学;
关键词
微光机电系统(MOEMS); 微机电系统(MEMS); 微机械加工技术;

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