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电子束背散射在胶层中的能量沉积

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摘要

模拟了散射电子在PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)电子束胶层中的能量沉积分布.在处理电子穿越衬底的边界时,采用了几率确定法,用以判断电子是否在界面处发生一次弹性散射.并完成了散射电子在电子束胶层中的前散射和背散射的能量沉积分布图.

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来源
《微细加工技术》 |2002年第1期|6-9,26|共5页
作者
张玉林; 尹明; 孙晓军;
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作者单位

山东大学南区电子束科研室,济南,250061;

山东大学南区电子束科研室,济南,250061;

山东大学南区电子束科研室,济南,250061;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
电子束; 能量沉积; 几率法; 散射;

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