纳米加工平台X-Y方向运动的数模控制策略

摘要

介绍了纳米加工平台的工作原理,并对电磁力进行计算分析.根据力学方程建立了纳米加工平台的X-Y方向模拟内环模型和数字外环模型,并对数模两环反馈控制进行了研究,提出了无加速度感应器的内环控制和模糊控制外环方法.仿真结果表明,该模型具有较高的动态性能和稳定性.