碳纳米管场发射压力传感器结构设计与测试

摘要

研制出了碳纳米管场发射压力传感器.在结构设计中提出了场发射压力传感器台阶双层阳极变形膜结构,计算机模拟证明,这种结构具有大量程与高灵敏度的优点.同时对这种结构的形变特性进行了实验测试,为传感器结构的整体尺寸设计提供了依据.最后对这种新型传感器的性能进行了测试,表明传感器的灵敏度为0.22μA/kPa(5 kPa～101 kPa).