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分子动力学在研究激光蚀除机制中的应用进展

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摘要

介绍了分子动力学模拟的基本原理,并对国内外采用其研究金属、半导体、有机体等材料的激光蚀除机制的现状以及所涉及的关键技术进行了详尽的综述,最后指出了分子动力学模拟激光蚀除的进一步研究方向.

著录项

来源
《微细加工技术》 |2005年第2期|5-14|共10页
作者
王扬; 刘璇; 韩荣第;
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作者单位

哈尔滨工业大学,机械制造及自动化系,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,机械制造及自动化系,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,机械制造及自动化系,哈尔滨,150001;

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正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
分子动力学模拟; 激光蚀除; 势函数; 金属; 半导体材料; 有机体;

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