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利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法

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摘要

在极紫外多层膜反射镜中,基底高频粗糙度是影响多层膜反射率的重要因素.通过在粗糙基底上镀制平滑层薄膜,可以有效降低基底粗糙度.叙述了平滑层减小多层膜基底粗糙度的原理,研究了不同镀膜工艺条件下平滑层对基底粗糙度减小效果的影响.结果表明,当工艺参数选择合适时,在粗糙基底上镀制平滑层,可以减小基底粗糙度.

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来源
《微细加工技术》 |2007年第3期|27-29,42|共4页
作者
张立超; 金春水;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;

中国科学院研究生院,北京,100039;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;

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正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
极紫外; 多层膜; 高频粗糙度; 平滑层; 功率谱密度;

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