一种基于双面白光共焦光谱的ICF靶零件平行度测量方法

摘要

为了精密测量ICF靶零件的平行度,本文提出了一种基于双面白光共焦光谱的样品平行度测量方法.该方法利用双向对顶安装的白光共焦传感器组件、精密位移平台对样品上下表面轮廓进行测量,使用最小二成拟合方法计算上下表面相对于水平平面的角度偏差,然后,计算出样品的平行度.测量不确定度评估结果表明,当K=2时,该方法的测量不确定度可达0.0016°.