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秦慧峰; 赵永刚;
兰州理工大学工程力学系 甘肃 兰州;
圆板; 非线性; 本构关系; 弯曲; 打靶法;
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机译:利用非线性弹簧大挠度的MEMS镜的光刻设备和器件制造方法
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