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杨静; 胡志伟; 刘栋; 张育飞;
西安理工大学 机械与精密仪器工程学院 西安 710048;
杭州品茗安控信息技术股份有限公司 杭州 310030;
多晶材料; 内聚力单元; Voronoi镶嵌的有限元模型; 疲劳损伤模型; 疲劳裂纹模拟;
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机译:重复载荷下MEMS谐振器多晶硅膜的累积疲劳损伤模型
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