激光陀螺稳频器压电陶瓷片微位移自动化测量

摘要

激光陀螺稳频器采用双压电陶瓷片作为驱动元件,用来实现对激光陀螺谐振腔长的双向调节,稳定激光陀螺的工作频率.压电陶瓷片要求配对使用,并具有相同的性能,在相同的驱动电压下具有近似一致的位移量,因此,需要对压电陶瓷片的微位移进行精确测量并配对使用.实验研究了充放电次数对压电陶瓷片位移量的影响,形成了基于高精度电感测微仪的双测头测量工艺方法;为实现压电陶瓷片的批量测量,设计了能够实现批量自动化测量的技术方案,并研制了设备.设备采用真空吸附方式拾取压电陶瓷片,避免机械夹取的意外损伤;利用球面轴承和弹性探针组合,保证上电极与陶瓷片接触均匀.实验结果表明,设备测量的重复精度优于0.06μm,能有效保证陶瓷片的一致性.