高压气体微小流量标准装置研制

摘要

研制了一套气体微小流量标准装置,装置适用空气、氮气、氩气、氧气等多种介质,相对扩展不确定度为0. 1%（k=2）。采用p VTt法原理,依据装置设计指标及原理方案,确定装置总体技术方案采用正压法和负压法复合原理,高压气瓶组供气,多台标准容器并联结构,等体积法多点测温技术。控制系统采用基于PC单片机的结构,软件开发采用C#语言,基于Visual Studio 2008平台。