回归分析应用于HP5528A干涉仪测量长度上的研究和应用

摘要

HP公司生产的双频激光干涉仪是一种高准确度、高分辩力的计量仪器。其计算机系统及软件功能丰富。它的尺寸分析计量系统(DMAS) 中的长度测量软件LINEAR是最常使用的,仍有必要进行优化。如加强误差分析能力和确定误差函数。本文以测试精密机床坐标为例.讨论误差的一元线性回归方程及在HP85B计算机上对LINEAR软件的设计。一、误差函数式的选择和建立影响精密机床坐标误差的因素很多,本文讨论误差的一维函数关系。由于机床坐标误差的变化规律在一定程度上趋于线性。