用光散测试磨削面的不平度

摘要

一、引言要有效地控制加工面的质量,需有适用于测试不平度的传感器,已有的参考文献提出了表征各种加工面散射特性的方法,并提出二种新的散射模型,一种是衍射模型,另一种是小型的反光镜面模型。