强流脉冲离子束制备功能膜研究进展

摘要

强流脉冲离子束在离子能量密度达到5J／cm2的条件下，辐照靶材表面形成二次烧蚀等离子体，可以在基材表面沉积与靶材化学成分一致性良好的膜层。评述了近年强流脉冲离子束沉积功能膜的研究进展，为进一步进行膜层沉积机理和工艺研究提供理论依据。