氧化锌薄膜的电化学沉积和表征

摘要

以铜片为衬底,用硝酸锌水溶液为电解液,采用阴极恒电流还原制备氧化锌薄膜.通过改变电流密度、电解液浓度、温度、离子掺杂等实验条件,系统研究了锌氧化物薄膜材料的电化学沉积过程.用X射线衍射、紫外-可见透射谱、热重-差热等技术对沉积物的结构、组成及光学性质进行了表征,结果表明,电沉积工艺条件显著影响薄膜材料的结构与组成.当电沉积产物中掺杂铜时,薄膜材料的光吸收边从375nm红移到458nm,带隙能从3.3eV降到2.7eV,拓宽了薄膜的吸光范围,这对ZnO薄膜在光学方面的应用具有重要意义.