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陈向阳; 张瑾; 胡海霞; 周哲波;
安徽理工大学机械工程学院,淮南232001;
CNx薄膜; 抗氧化性能; 氮含量; 反应磁控溅射;
机译:反应磁控溅射沉积Cr1-xAlxN薄膜的高温抗氧化性能
机译:氮在反应磁控溅射形成硬而有弹性的CNx薄膜中的作用
机译:反应磁控溅射制备CNx膜的表征
机译:CNX薄膜通过RF反应溅射制备 - 溅射气体对膜结构和机械性能的影响
机译:非垂直入射反应磁控溅射制备的金属氮化物(氮化铝,氮化钛,氮化ha)薄膜的织构演变。
机译:反应磁控溅射制备的电致变色铟锡锌氧化物薄膜
机译:反应磁控溅射制备的TiAlCN / CNx多层膜的离子束分析,耐蚀性和纳米力学性能
机译:反应磁控溅射制备超导Tl-Ca-Ba-Cu-O薄膜
机译:反应性高频磁控溅射制备电致变色镜工作电极双eu三薄膜的方法
机译:用射频磁控溅射法和薄膜太阳能电池用射频薄膜制备木质薄膜的方法
机译:磁控溅射装置,用于使用该装置的无机薄膜材料的磁通量配置(平衡型/非平衡型)可切换成膜方法,以及用于非磁性薄膜的双型磁控溅射装置和成膜方法成型B
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