SPM用于超精加工领域的重要性及特殊性

摘要

讨论了扫描针显微镜作为一种显微工具的优势和不足，介绍了把ＳＰＭ应用于超精密加工检测领域所要注意的问题，指出纳米级加工机理的研究将依赖于ＳＰＭ的复合化及多功能化，只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择，从而引导超精密加工的发展。