西安航天动力研究所陕西省等离子体物理与应用技术重点实验室 西安710100;
哈尔滨工业大学能源科学与工程学院 哈尔滨150001;
西安微电子技术研究所 西安710065;
西安微电子技术研究所 西安710065;
哈尔滨工业大学能源科学与工程学院 哈尔滨150001;
哈尔滨工业大学能源科学与工程学院 哈尔滨150001;
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室 兰州730000;
哈尔滨工业大学能源科学与工程学院 哈尔滨150001;
哈尔滨工业大学能源科学与工程学院 哈尔滨150001;