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一种新型2——DOF高加速精密定位系统的动态性能评估

         

摘要

针对微电子封装业等领域对高加速精密定位系统的需求,提出一种新型2-DOF高加速平面并联定位机构,对系统的速度特性、加速度特性等动态性能进行了仿真分析与实验研究,系统动态响应实验验证此定位平台具有高速/高加速度的运动特性.

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