负偏压对DLC薄膜结构和摩擦学性能的影响

摘要

采用离子束溅射沉积镀膜法制备了DLC薄膜,研究了偏压对薄膜性能的影响.通过原子力显微镜( AFM)和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌以及内部结构进行了分析表征.并用UTM-2摩擦磨损仪对其摩擦学性能进行了测试.结果表明,利用离子束溅射沉积制备的DLC薄膜具有良好的减摩抗磨性能.随着偏压的增加薄膜的摩擦因数先减小后增加,在-150 V偏压时,薄膜的摩擦学性能最好.