X射线能谱分析操作参数的优选

摘要

应用英国Ｌｉｎｋ公司的ＩＳＩＳＸ射线能谱仪（ＥＤＸ）配合英国Ｌｅｉｃａ公司的Ｓ－３６０扫描电镜（ＳＥＭ），以纯Ｃｏ标样为分析对象，讨论了电子束束流，加速电压，工作距离三个基本操作参数对ＥＤＸ分析结果的影响，从而优选了工作参数。