化学机械抛光用抛光垫的修整对修整效果的影响因素

摘要

抛光垫修整是化学机械抛光的重要过程之一.合理的修整可以改善修整效果,提高抛光质量.抛光垫的修整效果可以通过修整器的设计和修整工艺参数进行调整.文章通过对CMP用抛光垫修整现状的阐述,分析了对其修整效果的影响因素.金刚石颗粒的排列方式会影响修整效果,颗粒尺寸的增大会促进修整效率的提高.修整效率随着修整压力的增大而增大,修整时间和转速对修整效率有影响.温度的升高,可以改善修整质量,修整密度越大,抛光垫的磨损率越高.