大功率激光光束光斑诊断仪及其测试原理

摘要

针对激光加工用大功率激光的特点，分析了国内外现有的几种大功率激光光束诊断系统的测试原理和性能。详细介绍了一种能对大功率激光光束光斑在线测量的诊断仪。