激光束偏转方向定位方法研究及应用

摘要

提出一种精度确定激光束中心位置的方法。该方法以激光衍射理论为基础，利用ＣＣＤ作为探测器，结合曲线拟合技术，使激光束在ＣＣＤ上定位精度达到光敏元尺度的１／１０。利用此方法检测棱镜顶角，精确度达到０．００４°。