用Ti箔连接Si3N4／Ni的界面结构与元素扩散

摘要

用Ｔｉ箔在１３２３Ｋ进行Ｓｉ３Ｎ４与Ｎｉ之间的连接，并对连接界面区的微观形貌，成分分布和界面反应产物进行了分析研究。结果表明，通过Ｎｉ与Ｔｉ之间的相互扩散，在Ｓｉ３Ｎ４表面形浸润良好的Ｔｉ－Ｎｉ液体合金，实测Ｔｉ－２８Ｎｉ共晶合金１３２３Ｋ时在Ｓｉ３Ｎ４表面的浸润角为９°。基于ＥＤＸ，ＸＲＤ测定结果和热力学分析，确定界面结构为Ｓｉ３Ｎ４／ＴｉＮ（反应层Ｉ）／Ｔｉ５Ｓｉ３＋Ｔｉ５Ｓｉ４＋Ｎｉ３Ｓ（反